矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司(矽翔公司，Siargo Ltd. )成立于2003年,，公司總部位于美國(guó)加州硅谷,。矽翔公司是目前世界唯一生產(chǎn)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、低功耗,、超大量程MEMS氣體流量計(jì)并使之產(chǎn)品化的廠(chǎng)商,。其核心部件一MEMS流量芯片及其專(zhuān)利封裝技術(shù)由公司自主研發(fā)，可用于各類(lèi)氣體及微流體的流量計(jì)量和測(cè)控,，為傳統(tǒng)的流體計(jì)量帶來(lái)了根本性變革,，提供了全新的拓展空間。傳感器可測(cè)量低至0.01m/sec及高達(dá)65m/sec,。針對(duì)不同的應(yīng)用,，傳感器可用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及介質(zhì)流速,。專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的電路具有放大及微小信號(hào)處理功能以保證高精度輸出,。 不同于其它MEMS傳感技術(shù)，矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司在單個(gè)傳感芯片上集成多個(gè)傳感器,。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理,，在保證傳感器的靈敏度的同時(shí)避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒(méi)有氣體介質(zhì)流過(guò)MEMS傳感器芯片時(shí),，傳感器周?chē)３址€(wěn)定的溫度場(chǎng)(溫度分布),。當(dāng)氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí)，溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布,。這種局部溫度場(chǎng)變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速,。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量，通過(guò)校準(zhǔn),，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流速,。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計(jì)介質(zhì)體積流量。 矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司的流量傳感器可采用多種形式的封裝,，從而增加了其應(yīng)用的廣泛性,。 矽翔公司基于MEMS 技術(shù)的流量芯片廣泛應(yīng)用于醫(yī)療麻醉與呼吸設(shè)備，工業(yè)制造業(yè)用氣測(cè)量及過(guò)程控制,，環(huán)保等多個(gè)領(lǐng)域,；在醫(yī)院中心供氧,、制氧設(shè)備、分床計(jì)費(fèi)系統(tǒng),，食品加工,，科學(xué)氣體分析儀器，樓宇自控,，民用健身,、保健設(shè)備等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用；在全新的燃料電池等科技領(lǐng)域亦有的應(yīng)用,。 目前，產(chǎn)品已銷(xiāo)售到美國(guó),、日本,、歐洲、南美,、大洋洲,、東南亞等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。 矽翔公司是GB/T 20727-2006《熱式質(zhì)量流量計(jì)》起草單位之一,。